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    CST清洗设备
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    CST清洗设备

    所属分类 : 半导体装备
    wMBPURrcQS6U55ceJWTUzQ

    基本规格:

    -产品说明:清洗卡匣,确??ㄏ辉诓咴诵械慕嗑欢?;

    -适用范围:G6 CST和G6 Half CST;

    -工艺流程:加载→玻璃和卡匣感应检测→热DI高压清洗→DI清洗→CDA风机(风干)→1#热烘干→2#热烘干→卡匣变形检验→卸载;

    -干燥方式:卡匣在干燥室内旋转通过热风进行烘干;

    -设备节拍:根据客户需求设计;

    -产品定制:室体规格根据Cassette规格设计;有一室/二室/三室等规格可选择;


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